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天微電子課堂 | 半導體材料發展史:從矽基到超寬禁帶半導體的跨越

半導體材料係現代資訊技術的基石,其發展史不僅是科技進步的縮影,更是人類對材料性能極限不斷突破的見證。從第一代矽基材料到第四代超寬禁帶半導體,每一代材料的迭代都推動了電子器件性能的飛躍。

一、第一代半導體:矽與鍺的奠基時代

時間跨度:20世紀50年代至70年代

核心材料:矽(Si)、鍺(Ge)

天微電子課堂 | 半導體材料發展史:從矽基到超寬禁帶半導體的跨越矽(Si)P2鍺(Ge)


優勢:

① 成本低廉:矽是地殼中含量第二的元素,原材料豐富且提純技術成熟。

② 工藝成熟:基於矽的積體電路製造技術高度標準化,適用於大規模生產。

局限性:

① 性能瓶頸:禁帶寬度窄(矽為1.12eV),電子遷移率低,難以滿足高頻、高壓場景需求。

應用領域:電腦晶片、光伏產業、基礎電子元件等,至今仍是電子資訊領域的核心材料。

二、第二代半導體:化合物半導體的崛起

時間跨度:20世紀70年代至90年代

核心材料:砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)

天微電子課堂 | 半導體材料發展史:從矽基到超寬禁帶半導體的跨越砷化鎵(GaAs)天微電子課堂 | 半導體材料發展史:從矽基到超寬禁帶半導體的跨越磷化銦(InP)


優勢:

① 高頻性能:電子遷移率顯著高於矽,適用於毫米波通信和光電子器件。

② 光電轉換效率高:廣泛應用於LED、激光器等光電器件。

局限性:

① 成本與環境問題:原材料稀缺且有毒,製備工藝複雜,污染風險較高。

應用領域:衛星通信、光纖網絡、移動通信基站等高頻場景。

三、第三代半導體:寬禁帶材料的突破

時間跨度:21世紀初至今

核心材料:碳化矽(SiC)、氮化鎵(GaN)

天微電子課堂 | 半導體材料發展史:從矽基到超寬禁帶半導體的跨越碳化矽(SiC)P6氮化鎵(GaN)


優勢:

① 耐高壓高溫:禁帶寬度(SiC 3.2eV,GaN 3.39eV)遠超矽,擊穿電場強度高,適用於高功率器件。

② 能效提升:導通損耗低,可顯著減少能源浪費。

局限性:

① 製備難度大:晶體生長技術複雜,成本高昂(SiC晶圓成本為矽的30-40倍)。

應用領域:新能源汽車、5G基站、工業電源等高壓高頻場景。

四、第四代半導體:超寬禁帶材料的未來

時間跨度:2020年代起

核心材料:氧化鎵(Ga₂O₃)、金剛石(Diamond)、氮化鋁(AlN)

P7

氧化鎵(Ga₂O₃)

P8

金剛石(Diamond)

天微電子課堂 | 半導體材料發展史:從矽基到超寬禁帶半導體的跨越

氮化鋁(AlN)


優勢:

① 性能飛躍:氧化鎵禁帶寬度達4.9eV,理論擊穿場強是SiC的3倍,導通損耗僅為矽的1/3000。

② 成本潛力:氧化鎵器件成本約為SiC的五分之一,且與現有矽基產線兼容。

局限性:

① 製備挑戰:氧化鎵導熱性差,金剛石大尺寸晶圓製備困難,AlN單晶缺陷控制難度高。

應用領域:

短中期:消費電子、工業電源等中高壓場景。

長期:特高壓電網、深紫外光電器件、軍用雷達等極端環境應用。

政策助力第四代半導體材料騰飛

中國對於氧化鎵等第四代半導體材料的發展高度重視。2021年,發改委將鎵系寬禁帶半導體材料列為「十四五」戰略性電子材料重點專項,從國家層面為產業發展指明方向,提供政策支持和資源保障。2022年,科技部將氧化鎵列入「十四五」重點研發計劃,進一步推動了氧化鎵材料在科研領域的深入研究,鼓勵科研機構和高校開展相關基礎研究和技术創新。

北京、廣東、山西、山東、天津、上海等多個省市也紛紛出台地方政策支持氧化鎵等第四代半導體發展。例如,北京通過一系列政策舉措,支持民營企業參與國家戰略科技力量建設和關鍵領域技術攻關,探索採用以獎代補、貸款貼息、首購訂購等多種方式,助力第四代半導體材料研發與產業化。廣東則圍繞半導體及積體電路產業,在企業引培、產品研發應用、金融支持、人才引培等多方面提出具體獎補措施,促進包括第四代半導體材料在內的整個產業生態的完善與發展。這些政策從不同層面為第四代半導體材料的研發、生產、應用和產業化提供了全方位的支持,營造了良好的產業發展環境,吸引了大量的資金、人才和技術資源向該領域匯聚。

半導體材料的四代發展歷程是一部不斷突破、創新的科技進步史。每一代半導體材料都在特定的歷史時期滿足了當時的市場需求,推動了科技的進步。第四代半導體材料憑藉其獨特的性能優勢,有望在未來的科技發展中開闢新的應用領域,引領新一輪的產業變革。在政策的大力支持下,隨著技術難題的逐步攻克,第四代半導體材料必將在全球科技競爭中佔據重要地位,為人類社會的發展帶來更多的驚喜與變革。

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